維持潔凈室的靜壓差在規(guī)定的范圍內(nèi)，可以有效控制潔凈室的交叉污染。通常所說(shuō)的正壓潔凈室和負(fù)壓潔凈室，其實(shí)是反應(yīng)它與相鄰空間的壓力差ΔP，如果ΔP＞0，該潔凈室就是正壓潔凈室；若ΔP＜0，則為負(fù)壓潔凈室。所以，潔凈室的靜壓沒(méi)有太大意義，我們要控制的是潔凈室與相鄰潔凈室或室外的壓力差。
1、檢測(cè)要求
（1）靜壓差的檢測(cè)須在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行。
（2）測(cè)試順序應(yīng)在潔凈室平面上由潔凈度高的潔凈室到潔凈度低的潔凈室（或走廊）依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。
（3）測(cè)管口應(yīng)設(shè)在潔凈室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的地方，測(cè)管口平面應(yīng)與氣流方向平行。
2、測(cè)量?jī)x器
采用YJB-150補(bǔ)償微壓計(jì)或微差壓力計(jì)，儀器靈敏度由被測(cè)環(huán)境壓差控制精度而定，宜小于0.1Pa，規(guī)范要求靈敏度不應(yīng)低于2.1Pa。
3、測(cè)試方法
（1）關(guān)閉所有的門(mén)。
（2）用微差壓力計(jì)，根據(jù)預(yù)先設(shè)計(jì)的測(cè)定順序測(cè)量各潔凈室之間，潔凈室與潔凈走廊之間，潔凈室與非潔凈室之間及非潔凈室與室外的壓差。
（4）上述所測(cè)數(shù)值分別標(biāo)注在已畫(huà)好的測(cè)試平面圖上。
4、合格標(biāo)準(zhǔn)
按上述測(cè)試平面圖所標(biāo)注的壓差數(shù)據(jù)，分別與設(shè)計(jì)或工藝要求的壓差值對(duì)比。若實(shí)測(cè)壓差大于或等于要求的壓差值，則判定為合格；但實(shí)測(cè)壓差值不宜超出標(biāo)準(zhǔn)要求的壓差太多，否則會(huì)產(chǎn)生噪聲且影響開(kāi)關(guān)門(mén)，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)在開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)影響氣流組織。