1、液態(tài)環(huán)境總顆粒數(shù)（通過(guò)模擬測(cè)試潔凈抹布在液態(tài)環(huán)境下實(shí)際使用過(guò)程中產(chǎn)生的顆?？倲?shù)，確定抹布在潔凈環(huán)境中的適應(yīng)性），一般計(jì)算≥0.5μm和≥5μm的顆粒數(shù)，單位是（millionparticles/m2)，顆粒越少表示抹布性能越好。
2、空載顆粒總數(shù)（測(cè)量抹布（或其它材料）在產(chǎn)生與實(shí)際使用中的應(yīng)力類似的應(yīng)力的情況下在干燥狀態(tài)下釋放的空載顆粒的數(shù)），一般計(jì)算≥0.5μm的顆?？倲?shù)(單位Particles/m2/ft3)。
3、纖維釋放數(shù)（通過(guò)測(cè)量抹布在液態(tài)環(huán)境中承受特定量的應(yīng)力（模擬實(shí)際使用）后的總纖維負(fù)載數(shù)。一般計(jì)算＞100微米的纖維數(shù)目，單位fibers/平米。
4、不揮發(fā)殘余物測(cè)試。
5、吸附能力（吸附速度和吸附量，吸附速度越快吸附量越大性能越好）。
6、更換過(guò)濾器的過(guò)程，不能觸碰過(guò)濾器的濾芯表面，四周密封無(wú)漏氣。更換完畢后，潔凈室不能立馬投入使用中，需要檢測(cè)是否合格。
無(wú)塵檢測(cè)主要看幾個(gè)方面：首先檢基本特性，看離子數(shù)是否合格，出風(fēng)口風(fēng)速如何。盡量多檢測(cè)幾個(gè)點(diǎn)，如果不放心可以請(qǐng)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)代為檢測(cè)。風(fēng)速不夠，或者需要局部?jī)艋蛇x擇FFU來(lái)進(jìn)行補(bǔ)充。